Charakteristiky použití elektronového paprsku ke zpracování malých otvorů ve strojírenském průmyslu

Zpracování elektronovým paprskem probíhá za podmínek vakua a využívá fokusovaný elektronový paprsek s extrémně vysokou hustotou energie k dopadu na velmi malou plochu na povrchu obrobku velmi vysokou rychlostí. Během velmi krátké doby se většina jeho energie přemění na tepelnou energii, takže materiál obrobku v naražené části dosáhne vysoké teploty několika tisíc stupňů Celsia, což způsobí lokální zplynování materiálu a je odsáváno podtlakem. systém. V současné době lze zpracovávat otvory o průměru menším než 3um, což je výhodné zejména pro vrtání mnoha dílů v oblasti mikroelektroniky. Je to nepostradatelná metoda zpracování při zpracování mikrootvorů. Charakteristika zpracování elektronovým paprskem ①Teoreticky může zpracování elektronovým paprskem zpracovat malé otvory o průměru menším než 1 um. Délka nejtenčí části po zaostření elektronového paprsku je přitom desetinásobkem průměru jeho průřezu, takže je vhodná pro zpracování malých hlubokých děr ②Intenzitu a polohu elektronového paprsku lze snadno ovládat pomocí magnetické pole a elektrické pole, takže je snadné programovat ovládání, Realizujte automatické vysokorychlostní vrtání malých otvorů ③ Při vrtání malých otvorů elektronovým paprskem je síla malá, napětí a deformace jsou malé a lze je použít na křehké materiály, tvárné materiály, vodiče a nevodiče. ④ Malé otvory pro elektronový paprsek jsou vyrobeny ve vysokém vakuu Provádí se ve středním prostředí, téměř zcela se vyhýbá oxidačnímu jevu při zpracování vzduchu a je zvláště vhodný pro vrtání malých otvorů do snadno oxidovatelných materiálů a polovodičových materiálů s extrémně vysokými požadavky na čistotu. ⑤Vrtání elektronovým paprskem vyžaduje desítky tisíc voltů urychlovacího napětí a výšky čerpání. Vakuové zařízení je složitější a dražší. Proto má určitá omezení ve výrobě a aplikaci. V současnosti se využívá především v oblasti mikroelektronického průmyslu. Předchozí: Vlastnosti ultrazvukového obrábění v procesu obrábění malých děr